白皮书:射频与微波电子

从电子包装中去除废气中的氢

由:

大多数电子封装需要密封或保存在真空中,以保持内部部件长期运行的可靠性。[1-3]然而,这些封装往往会因为排出不需要的气体(如氢气(H2)、氧气(O2)、甲烷(CH4)和水分(H2O))而失效。H2被认为是最有害的气体,它不仅有助于降低内部包装的真空,而且经常导致脆化或/增加水分时,在包装中存在氧气。例如,真空的丧失可能会减弱压力MEMS传感器的膜片延性或通过降低负载承载能力而改变加速器的振动频率。为了缓解气体逸出H2导致的封装失效模式,可以使用吸气剂将气体逸出H2从电子封装中去除,以便长期运行。

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